Teledyne Hastings DV-6R是一款高性能热电偶真空规管,专为在苛刻条件下提供稳定、准确和可靠的真空压力测量而设计。该产品广泛应用于半导体制造、航天测试、科研装置及工业过程控制等领域。
DV-6R是Teledyne Hastings Instruments DV-6系列的一员,作为本地化传感器,需与相应的仪表或控制器配对使用。其采用热电偶测量原理:坚固的传感器测量管易于安装至真空系统,在被适当激励时,会产生热电电压,从而提供基于气体密度的真空压力测量。对温度和温度变化率具有补偿功能,确保了测量的稳定性。
二、核心性能参数与优势
测量范围:典型的测量范围为1至1000毫托(mTorr)。
稳定性与准确性:在苛刻条件下具备非凡的稳定性和准确性。
校准气体:通常在含有氮气(N2)或空气的真空系统上进行校准,但也可通过换算系数用于其他气体。
结构设计:采用坚固耐用(Rugged)的结构设计,并包含保护帽,适合恶劣环境应用。
安装与维护:提供整套安装附件以简化系统集成。更换规管时,可依据手册对仪表或控制器进行重新校准。
DV-6R系列热电偶规管因其可靠性和经济性,被用于众多行业:
半导体工艺:如等离子涂层、真空炉等。
空调与制冷设备制造。
电力变压器与低温罐/杜瓦瓶。
科研与工业领域:包括同步辐射光源、火箭发动机高空模拟试验舱、真空镀膜、冻干等。
DV-6R规管与Teledyne Hastings的VT系列仪表(如VT4、VT5、VT6系列)以及HPM4/5/6系列数字真空计兼容,可共同构成完整的真空测量系统。57 该系统提供多种仪表、接头、继电器和输出选项,以满足不同应用需求。